本機適用范圍
二氧化碳發(fā)泡機又稱超純水抗靜電裝置、超純水電阻率調節(jié)裝置，是半導體切割工序的必備設備。在半導體行業(yè)生產中，使用超純水有助于提高產品良率，但超純水具有很高的電阻率，因此也容易在產品表面產生靜電，對產品造成傷害。二氧化碳發(fā)泡機就是為了解決這一問題而研制的，向高電阻率的超純水中添加二氧化碳來降低超純水的電阻率，從而防止在劃片和清洗制程中產生靜電而損傷產品。

本機特點

本設備結構緊湊，占地面積小;

安裝方便、操作簡單、性能穩(wěn)定、故障率低;

有效防止靜電破壞產品，提高良率，降低企業(yè)生產成本;

超純水電阻率可方便精準地設定在0.22MQ.cm范圍內;

電阻率超出設定范圍時，報警燈和蜂鳴器提示;

 規(guī)格參數(shù)