切割液注入機(jī)
產(chǎn)品描述
本機(jī)適用范圍
BADS系列切割液注入機(jī)專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì),是用來(lái)滿足晶圓清洗藥水的自動(dòng)補(bǔ)給設(shè)備,通過(guò)注液泵將切割液按照一定比例輸送至切割機(jī),根據(jù)容戶不同需求,最多可同時(shí)為4合切割機(jī)同時(shí)提供切割液。
本機(jī)特點(diǎn)
- 本設(shè)備采用進(jìn)口注液泵,運(yùn)行穩(wěn)定,使用壽命長(zhǎng);
- 機(jī)箱采用半導(dǎo)體行業(yè)環(huán)保材料;
- 可選配注液泵流量檢測(cè)儀。
規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | BADS-1 | BADS-2 | BADS-4 |
輸入電壓 | 單相AC 220V | 單相AC220V | 單相AC 220V |
頻率 | 50/60Hz | 50/60Hz | 50/60Hz |
注液泵速率 | 2L/H最大 | 2L/H最大 | 2L/H最大 |
液位限制 | 磁浮開(kāi)關(guān) | 磁浮開(kāi)關(guān) | 磁浮開(kāi)關(guān) |
水壓(去離子水) | 5KG/cm2最大 | 5KG/cm2最大 | 5KG/cm2最大 |
儲(chǔ)液室容量 | 1 gal | 20 gal | 20 gal |
尺寸W*D*H | 250*400* 300mm | 460*6 10*950mm | 460*610*950mm |
未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加
上一個(gè)
二流體晶圓清洗機(jī)
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二氧化碳發(fā)泡機(jī)
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